直接葉輪溫度測(cè)量技術(shù)使操作范圍增加
定制階段和后端口位置選擇的額外靈活性
nEXT85中的軸承和墨盒完全可以最終用戶使用
CMSD啟用低振動(dòng)水平
具有微型USB端口和Edwards nST軟件的智能泵,允許泵監(jiān)控,控制和配置
全套定制配件
增強(qiáng)客戶標(biāo)準(zhǔn)和壓縮重點(diǎn)變化的選擇
nEXT85渦輪分子泵基于EXT75DX的成功,以更小的封裝提供具有顯著改進(jìn)性能的泵。轉(zhuǎn)子已經(jīng)完全重新設(shè)計(jì),以優(yōu)化泵性能,實(shí)現(xiàn)更高的速度和更高的壓縮,同時(shí)保持高水平的可靠性。 除了增強(qiáng)的性能外,nEXT85還可以獲得來(lái)自較大的nEXT系列的相同服務(wù)和操作功能,包括現(xiàn)場(chǎng)可維護(hù)性和內(nèi)置智能,為產(chǎn)品提供了便利。
泵速度
NW40:48 L/sec(cfm)
ISO63:84 L/sec(cfm)
4.50"CF(DN63CF):84 L/sec (cfm)
壓縮比
N2:> 1.0×1011
Ar:1.0×109
He:8.5 x 106
H2:2.1×105
入口法蘭:DN63CF(4.50"外徑)
前緣法蘭:KF16
最大前緣壓力:7.5Torr(10mbar)
方向:垂直直立到90%
冷卻方式:環(huán)境空氣(強(qiáng)制空氣和水冷)