結(jié)合了工業(yè)顯微鏡和AOI系統(tǒng)的線激光和基于圖像的自動聚焦和跟蹤。MSG圖像自動聚焦作為一個跟蹤聚焦,而不像典型的對比度圖像聚焦。通過根據(jù)表面自動選擇聚焦方法,獲得更加穩(wěn)健的聚焦結(jié)果。
控制接口步進/伺服電機。適用于放大2倍至100倍的校正透鏡,VIS、NIR、NUV、DUV。UI界面和軟件庫。
我們的技術(shù)能夠自動聚焦于:
3種不同的操作模式。
混合自動聚焦模式,可智能選擇激光或圖像聚焦,以優(yōu)化速度和精度,幾乎消除激光壞點問題,同時仍能準確跟蹤
該系統(tǒng)具有完整的Z軸閉環(huán)系統(tǒng),帶有傳感器和電機控制。它帶有一個軟件界面,便于設(shè)置、使用和診斷所有必要的傳感器和電機參數(shù)。易于集成到現(xiàn)有軟件架構(gòu)中。
參考APO計劃無限顯微鏡物鏡(示例) |
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放大倍數(shù) |
5x |
10x |
20x |
50x |
100x |
DOF |
14µm |
3.5µm |
1.6µm |
0.9µm |
0.6µm |
采樣率激光器 |
max.5kHz |
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采樣率視頻 |
250幀/秒,MAX,連續(xù) |
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工作范圍激光 |
±12000µm |
±4000µm |
±1500µm |
±500µm |
±150µm |
工作范圍視頻 |
±5000µm |
±1000µm |
±400µm |
±100µm |
±20µm |
精度* |
激光模式:0.5鏡頭自由度,視頻0.25鏡頭自由度 |
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激光 |
二極管激光器660nm,IIIR類<2mW,前置透鏡 |
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工作溫度 |
+5°C至+50°C |
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光束形狀 |
45°傾斜激光線 |
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傳感器+電纜重量 |
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400g |
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接口重量 |
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400g |
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推薦BS |
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50/50 |
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激光AF周期時間 |
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0.1s |
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自動跟蹤 |
圖像AF周期時間 |
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0.4s |
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自動跟蹤 |
混合AF循環(huán)時間 |
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0.2s |
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自動跟蹤 |
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電源 |
In |
僅+12V DC傳感器,24-48V,帶控制器LAF-C |
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可選距離輸出 |
模擬 |
0-10V和-10+10V,通過RS232 |
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信號質(zhì)量輸出 |
模擬 |
0-10V,通過RS232 |
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通信 |
數(shù)字 |
RS232 |
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激光器開/關(guān) |
In |
TTL |
&通過RS232 |
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照相機同步 |
In |
TTL |
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*所有數(shù)據(jù)均指激光用普通玻璃的測量值和視頻用標準圖案 |