XITON PHOTONICS激光系統(tǒng)IXION 193 SLM

XITON PHOTONICS是泵浦固態(tài)激光器與非線性光學器件的專家。XITON PHOTONICS開發(fā)并制造了幾乎任何所需波長的可靠激光系統(tǒng)，波長范圍從深紫外185nm到中紅外5µm。XITON PHOTONICS是一家位于德國的全球運營公司，擁有超過15年的經(jīng)驗。IXION 193 SLM是一種單頻全固態(tài)激光系統(tǒng)，用于光學計量、193nm步進光學器件的校準或高功率ArF準分子激光器的帶寬控制等應用。該系統(tǒng)的波長可在185至194nm之間的范圍內(nèi)定制，并且可以在購買時預先配置為固定波長。作為一種選擇，將具有0.001nm光譜精度的高精度光譜儀集成到系統(tǒng)中。這允許大限度地控制激光器的光譜調(diào)諧。

• 可靠性

• 產(chǎn)地：德國
• 波長：193.368 nm
• 平均功率：10mW
• 脈沖持續(xù)時間：典型值8-12 ns
• 每脈沖能量：1.6µJ
• 重復頻率：1-15 kHz
• 光束質(zhì)量：M²<1.6
• 頻譜帶寬：＜80 MHz
• 光譜可調(diào)諧性：>10pm
• 相干長度：>2 m
• 脈沖對脈沖刺入.：σ<2.5%