MProbe 20是一種用于全球數(shù)千個(gè)應(yīng)用的薄膜厚度測量臺(tái)式系統(tǒng)。它只需單擊鼠標(biāo)即可測量薄膜厚度和折射率??梢钥焖倏煽康販y量1nm至1mm的厚度,包括多層膜堆疊。不同的MProbe 20模型主要通過光譜儀的波長范圍和分辨率來區(qū)分,這反過來決定了可以測量的材料的厚度范圍和類型。該測量技術(shù)基于光譜反射——快速、可靠且無損。
產(chǎn)地:美國
精度:<0.01nm或0.01%(在200nm氧化物上進(jìn)行100次測量的s.d.)
<1nm或0.2%(依賴于膠片堆棧)
穩(wěn)定性:<0.02nm或0.2%(20天,每天測量)
測量厚度:1nm至1mm
光斑尺寸:<1mm
樣品尺寸:>=10mm
主機(jī):包括光譜儀、光源、光控制器微處理器
樣品臺(tái):SH200A
探頭:光纖反射
測試樣品:200nm氧化硅或PET薄膜
電纜:USB或LAN
電源適配器:24VDC
電壓:110/220V