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MALEMA流量控制器LFC-7000

  • 品  牌:MALEMA
  • 型  號:LFC-7000
  • 技術(shù)資料:
  • 閱讀次數(shù):208

產(chǎn)品介紹

MALEMA流量控制器LFC-7000是一款超聲波液體流量控制器,這款高性能閉環(huán)流量控制器設(shè)計用于各種液體,包括去離子水、刺激性化學品和CMP拋光漿料。LFC-7000流量控制器采用無移動部件的超聲波流量計模塊提供“正常運行時間”(含夾管更換周期為 3 年或更長時間的漿料模塊)。

性能特點

  • 高精度,將流量控制在設(shè)定值的 ± 1%以內(nèi)
  • 快速響應(yīng)3 秒
  • 2 種類型的控制閥應(yīng)用范圍廣
  • 廣泛的流量控制能力
  • 全PTFE/PFA 潤濕部件結(jié)構(gòu) - 確保與高壓液體化學品、去離子水和 CMP 漿料兼容(漿料模塊配有鉑固化硅膠管)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國

標準滿量程范圍:50、100、250、500、1000、1500、2500、4000、8000、12000 mL/min

精度:(室溫DIW):設(shè)定點的 ±1% 或± 3mL/min(以較大者為準)

重復(fù)性:設(shè)定值的 ±1% 或 ±1 mL/min(以較大者為準)

控制重復(fù)性:±設(shè)定點的 0.5% 或 ±0.5mL/min(以較大者為準)

流量控制時間:< 3 秒

流體溫度:10℃- 60℃

環(huán)境溫度:0 - 40℃

環(huán)境濕度:30 - 80% RH,不結(jié)露

預(yù)期工作壓力Max:50 磅/平方英寸

內(nèi)部壓力Max:70 磅/平方英寸

壓差范圍:7 至 30 psid

非接液部件外殼材料:PPS、PEEK、亞克力、乙烯基、PVC

接液部件材料:PFA、PTFE、鉑固化有機硅

阻燃:FMET4325

安裝方向:水平或垂直

流體連接:入口/出口:1/4" 或 3/8",擴口或柱形

流量限制(孔口):> 2 mm

入口防護等級:IP64

電源輸入:24 V±10 %

電流消耗Max:0.5 A

控制信號輸入:0 至 10 V或 4 至 20 mA

流量信號輸出:0 至 10 V或 4 至 20 mA

產(chǎn)品應(yīng)用

半導體CMP工具

基于蠕動泵的輸送系統(tǒng)

控制清潔化學品的混合和輸送

流體混合

點膠應(yīng)用


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