iVacSens 系列真空傳感器模塊是較小的寬量程多功能組合真空計。iVacSens 具有全功能傳統(tǒng)真空傳感器的功能,校準后即可交付使用。它專為在真空下操作的儀器(如質譜儀和掃描電子顯微鏡)中的高等級設備集成而設計。iVacSens 基于創(chuàng)紀錄的 SmartPirani MEMS 熱損耗傳感器,與傳統(tǒng)的線式 Pirani、對流規(guī)和傳統(tǒng) MEMS Pirani 相比,具有同類更高的性能、更寬的測量范圍和更高的精度。SmartPirani 傳感器技術與隔膜傳感器相結合,可在 2 至 1,333 mbar范圍內進行不受氣體影響的測量。iVacSens ATM 包含一個熱損耗 MEMS Pirani 傳感器、一個Abs膜片傳感器、一個氣壓傳感器、一個真空溫度傳感器和一個環(huán)境溫度傳感器。所有傳感器測量值均可通過 UART 或 RS-485 數(shù)字接口訪問。溫度參數(shù)可用于在設備過熱時發(fā)出關閉設備的警告或控制信號,或作為計算設備預測性維護的參數(shù)。
超寬測量范圍達 9 個量程
3 個用于過程控制的數(shù)字設定值輸出
模擬電壓輸出
數(shù)字 UART 接口
數(shù)字 RS-485 接口
遠程零點調整
用于診斷的真空溫度傳感器
超緊湊設計
連接器引腳引出(10 引腳 0.5 毫米間距 FCC)引腳描述
1 電源電壓 -(返回)
2 電源電壓 3.3 VDC 或 4-18 VDC(2)
3 模擬電壓信號 -(返回)
4 模擬電壓信號 +
5 設定點 3 輸出
6 設定點 2 輸出
7 設定點 1 輸出
8 UART 接收或 RS-485 B
9 UART 發(fā)送或 RS-485 A
10 遠程零點輸入
iVacSens 連接電纜 產品編號
FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 針 30 mm 長 CAB-FCC10P-030
FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 針 50 mm 長 CAB-FCC10P-050
FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 引腳 100 mm 長度 CAB-FCC10P-100
FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 引腳 150 mm 長 CAB-FCC10P-150
FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 引腳 200 mm 長度 CAB-FCC10P-200
FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 引腳 300 mm 長度 CAB-FCC10P-300
產地:丹麥
測量范圍:1×10-6 至 1,333 mbar(7.5×10-7 至 1000 托)
測量原理 1×10-6 至 1.5 mbar:MEMS 皮拉尼熱導率
測量原理 1.5 至 2 mbar:混合 MEMS Pirani / 壓電讀數(shù)
測量原理 2 至 1,333 mbar:MEMS 壓電電阻膜片
精度 1×10-5 至 9.99×10-5 mbar:讀數(shù)的 25 %
精度 1×10-4 至 9.99 mbar:讀數(shù)的 5 %
精度 10.0 至 99.9 mbar:讀數(shù)的 1 %
精度 100 至 800 mbar:讀數(shù)的 0.5 %
精度 800 至 1,099 mbar:讀數(shù)的 0.25 %
精度 1,100 至 1,200 mbar:讀數(shù)的 0.5 %
磁滯 1×10-3 至 10 mbar (ISO 19685:2017):1 %
磁滯 10 至 1,200 mbar(ISO 19685:2017):0.1 %
真空溫度傳感器范圍:-20 至 + 85 ℃
真空溫度傳感器精度:+/- 1.5 ℃
傳感器溫度傳感器范圍:-20 至 + 85 ℃
傳感器溫度傳感器精度:+/- 1.5 ℃
模擬輸出:0.2 至 1.55 VDC (150 mV/decade mbar/torr)
模擬輸出分辨率:12 位
模擬輸出更新率:124 Hz
響應時間:< 20 ms
溫度補償:+10 至 +50 ℃
設定點范圍(Abs值):5×10-6 至 1,333 mbar(3.75×10-6 至 1000 托)
設定點輸出高電平:> 2.9 VDC
設定點輸出低電平:< 0.4 VDC
設定點輸出源電流和灌電流:Max 1 mA
工作環(huán)境溫度:-20 至 +50 ℃
介質溫度:-20 至 +50 ℃
存儲環(huán)境溫度:-40 至 +120 ℃
烘烤溫度(非工作):+120 ℃
Max介質壓力Abs:10 bar
安裝位置:任意
防護等級,EN 60529/A2:2013:IP 40
濕度,IEC 68-2-38:98 %,無冷凝
電源電壓:+3.3 VDC 或 4 至 18 VDC
功耗:25 mW(Max值)3.3 VDC 電源;95 mW(Max值)4 至 18 VDC 電源
限性反接保護:無
過壓保護:無
質譜儀、掃描電子顯微鏡、真空泵集成、閥門集成、太空飛行、泄漏檢測、飛輪儲能、真空開關