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SENS4傳感器模塊VPi-5 iVacSens

產品介紹

iVacSens 系列真空傳感器模塊是較小的寬量程多功能組合真空計。iVacSens 具有全功能傳統(tǒng)真空傳感器的功能,校準后即可交付使用。它專為在真空下操作的儀器(如質譜儀和掃描電子顯微鏡)中的高等級設備集成而設計。iVacSens 基于創(chuàng)紀錄的 SmartPirani MEMS 熱損耗傳感器,與傳統(tǒng)的線式 Pirani、對流規(guī)和傳統(tǒng) MEMS Pirani 相比,具有同類更高的性能、更寬的測量范圍和更高的精度。SmartPirani 傳感器技術與隔膜傳感器相結合,可在 2 至 1,333 mbar范圍內進行不受氣體影響的測量。iVacSens ATM 包含一個熱損耗 MEMS Pirani 傳感器、一個Abs膜片傳感器、一個氣壓傳感器、一個真空溫度傳感器和一個環(huán)境溫度傳感器。所有傳感器測量值均可通過 UART 或 RS-485 數(shù)字接口訪問。溫度參數(shù)可用于在設備過熱時發(fā)出關閉設備的警告或控制信號,或作為計算設備預測性維護的參數(shù)。

性能特點

超寬測量范圍達 9 個量程

3 個用于過程控制的數(shù)字設定值輸出

模擬電壓輸出

數(shù)字 UART 接口

數(shù)字 RS-485 接口

遠程零點調整

用于診斷的真空溫度傳感器

超緊湊設計

選型指南

產品結構與細節(jié)

連接器引腳引出(10 引腳 0.5 毫米間距 FCC)引腳描述

1 電源電壓 -(返回)

2 電源電壓 3.3 VDC 或 4-18 VDC(2)

3 模擬電壓信號 -(返回)

4 模擬電壓信號 +

5 設定點 3 輸出

6 設定點 2 輸出

7 設定點 1 輸出

8 UART 接收或 RS-485 B

9 UART 發(fā)送或 RS-485 A

10 遠程零點輸入

可選功能與配件

iVacSens 連接電纜 產品編號

FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 針 30 mm 長 CAB-FCC10P-030

FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 針 50 mm 長 CAB-FCC10P-050

FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 引腳 100 mm 長度 CAB-FCC10P-100

FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 引腳 150 mm 長 CAB-FCC10P-150

FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 引腳 200 mm 長度 CAB-FCC10P-200

FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 引腳 300 mm 長度 CAB-FCC10P-300

技術參數(shù)

產地:丹麥

測量范圍:1×10-6 至 1,333 mbar(7.5×10-7 至 1000 托)

測量原理 1×10-6 至 1.5 mbar:MEMS 皮拉尼熱導率

測量原理 1.5 至 2 mbar:混合 MEMS Pirani / 壓電讀數(shù)

測量原理 2 至 1,333 mbar:MEMS 壓電電阻膜片

精度 1×10-5 至 9.99×10-5 mbar:讀數(shù)的 25 %

精度 1×10-4 至 9.99 mbar:讀數(shù)的 5 %

精度 10.0 至 99.9 mbar:讀數(shù)的 1 %

精度 100 至 800 mbar:讀數(shù)的 0.5 %

精度 800 至 1,099 mbar:讀數(shù)的 0.25 %

精度 1,100 至 1,200 mbar:讀數(shù)的 0.5 %

磁滯 1×10-3 至 10 mbar (ISO 19685:2017):1 %

磁滯 10 至 1,200 mbar(ISO 19685:2017):0.1 %

真空溫度傳感器范圍:-20 至 + 85 ℃

真空溫度傳感器精度:+/- 1.5 ℃

傳感器溫度傳感器范圍:-20 至 + 85 ℃

傳感器溫度傳感器精度:+/- 1.5 ℃

模擬輸出:0.2 至 1.55 VDC (150 mV/decade mbar/torr)

模擬輸出分辨率:12 位

模擬輸出更新率:124 Hz

響應時間:< 20 ms

溫度補償:+10 至 +50 ℃

設定點范圍(Abs值):5×10-6 至 1,333 mbar(3.75×10-6 至 1000 托)

設定點輸出高電平:> 2.9 VDC

設定點輸出低電平:< 0.4 VDC

設定點輸出源電流和灌電流:Max 1 mA

工作環(huán)境溫度:-20 至 +50 ℃

介質溫度:-20 至 +50 ℃

存儲環(huán)境溫度:-40 至 +120 ℃

烘烤溫度(非工作):+120 ℃

Max介質壓力Abs:10 bar

安裝位置:任意

防護等級,EN 60529/A2:2013:IP 40

濕度,IEC 68-2-38:98 %,無冷凝

電源電壓:+3.3 VDC 或 4 至 18 VDC

功耗:25 mW(Max值)3.3 VDC 電源;95 mW(Max值)4 至 18 VDC 電源

限性反接保護:無

過壓保護:無

產品尺寸

產品應用

質譜儀、掃描電子顯微鏡、真空泵集成、閥門集成、太空飛行、泄漏檢測、飛輪儲能、真空開關


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