Agilent Varian SH-110泵擁有先進的功能,包括4.0CFM抽速以及5.0×10 -2托的最終壓力。SH-110干式渦旋真空泵的設(shè)計便于集成到原始設(shè)備制造商(OEM)系統(tǒng)。這種單級泵為110升/分鐘的泵送速度(60赫茲功率)和50毫托(0.07毫巴)的極限壓力,是最終用戶理想的應(yīng)用程序。SH-110泵符合歐盟指令(CE),加拿大標準委員會(CSA)和Semi S2-0200的要求。
特點:
低溫運行
1/4低功耗馬力電機
內(nèi)置排氣閥,低噪音的生產(chǎn)
排氣口可移動,在狹小的空間仍具有靈活性,
高壓條件下高抽速,可快速抽氣
低重量,裝有方便的提手
內(nèi)置故障安全隔離閥,保護真空系統(tǒng)
通用100-230 VAC電源,方便全球安裝
自動空氣鎮(zhèn)流器進行有效的水分處理
快速密封替換,實現(xiàn)低成本使用
泵速峰值:60 Hz,110 L/m, 6.6 m3/hr, 4.0 cfm;
50 Hz,90 L/m, 5.4 m3/hr,3.3 cfm
極限壓力:5.0×10-2托(6.6×10-2毫巴)
最大進口壓力:1個大氣壓
最大出口壓力:1.5個大氣壓
入口連接:NW25 KF法蘭
排氣連接:1/4-in. female nat’l管螺紋
排氣連接適配器:NW16 KF適配器提供
工作環(huán)境溫度:5至40℃
存儲溫度:-20至60℃
電機功率:0.25馬力(0.19千瓦)
供電:單相,50-60赫茲,100-115 / 200-230 VAC
電機過熱保護:自動
轉(zhuǎn)速:1725 RPM, 60赫茲
1425 RPM,50赫茲
冷卻:風冷
重量:19.5千克(43磅)
限制:無腐蝕性,爆炸性,或顆粒狀成形氣體
泄漏率(排氣密封):<1×10-7 STD-cc / sec氦氣