由于插值電路,集成在一個15針D-sub連接器或掃描頭,分辨率降低到50納米,可以沒有任何額外的電子產(chǎn)品
允許的運行速度為正弦信號,輸出達10米/秒;均方輸出的0.1微米的分辨率波信號可為1.6米/秒的允許運行速度。
短距離的位置誤差(插值誤差)通過引入振幅的電子補償和偏移粗信號偏差均顯著降低。這種補償功能,在所有速度范圍內(nèi)可避免錯誤。
附加功能:
可重復(fù)性參考信號(多個)精確到一個特定的增量,無論從哪個方向的基準標記(s)都是可以的
緊湊的尺寸,安裝公差大
由于2區(qū)域掃描,具有高抗污染性
電子信號調(diào)整的可能性(安裝后信號優(yōu)化)
可選附加的光開關(guān)(多個)傳感器集成在掃描頭(LIA 21 / LIA 22)
易于安裝刻度磁帶(SINGLEFLEX和DOUBLEFLEX),用于各種應(yīng)用和環(huán)境條件
應(yīng)用范圍:
半導(dǎo)體產(chǎn)??業(yè)生產(chǎn)和檢測設(shè)備
線性單元,驅(qū)動器和坐標表
測量設(shè)備和測量顯微鏡
醫(yī)療技術(shù)定位和測量設(shè)備
復(fù)印精密設(shè)備
精密加工
機器人
NUMERIK JENA直線光柵LIA20-N501WA兼容光柵尺MV53 40NP。
掃描頭尺寸:34*13.2*12.4mm
掃描頭重量:≤20g
掃描頻率:最大500kHz
電源電壓:5 V±10%
輸出接口
電壓輸出:1 VPP(15針D-Sub)
方波輸出:RS422,插值可達100次(15針D-Sub)
電纜:
允許彎曲半徑:
偶爾彎曲~8毫米
恒定彎曲~40毫米