HEIMANN SENSOR真空傳感器HVS v ac04

品　　牌：HEIMANN SENSOR
型　　號：HVS v ac04
技術資料：
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產(chǎn)品介紹

HEIMANN真空傳感器HVS系列包含采用硅微加工技術的新型創(chuàng)新傳感器芯片。硅批處理技術可實現(xiàn)小型化和低成本大批量生產(chǎn)。特殊要求可以從1E-5mbar到1E-2mbar的標準測量范圍擴展到1E-1mbar。Heimann真空傳感器HVS是微型皮拉尼（Pirani）型傳感器，基于薄微機械膜上的加熱電阻器結(jié)構(gòu)，傳感器采用小巧耐用的TO型金屬外殼。

詳細參數(shù)

參數(shù)	HVS Vac03g	HVS Vac03k	HVS Vac04	單位
外殼	TO8	TO39	TO39（單個） TO8（雙）
芯片尺寸	5.2x5.2	4.0x4.0	1.2x1.2	mm2
傳感器電阻RP（典型值）	8.5	8.5	1	kOhm
片上參考電阻RK（典型值）	8.5	8.5	1	kOhm
電源電壓U0 (max.)	3.5	3.2	4（1..1000 mbar） 2（p <1 mbar）	volt
工作溫度	-20..120			°C
儲存溫度	-40..120			°C

HEIMANN SENSOR真空傳感器HVS v ac04

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